SF6精密露點儀也叫微水儀，因此將露點儀長期放置于大氣環境中，會降低露點儀的測量精度。固定式安裝的露點儀一般2年需要重新校準一次；而便攜式應用的露點儀一般1年就要重新校準一次，主要原因就是便攜式露點儀和大氣環境接觸的機會更多，測量精度更容易受到影響。

 

　　SF6精密露點儀通過水分的增減改變電容介電材料的特性，進而改變電容值，進而改變由電容和電感組成的振蕩電路的振蕩頻率。振蕩頻率的高低反應壓縮空氣中水分含量的多少。

 

　　根據所采用介電材料的不同常見的有兩類：氧化鋁型和高分子聚合物薄膜型。氧化鋁型低可以測量到－100°C的壓力露點，薄膜型低可以測量到－80°C。

 

　　讓樣氣流經露點冷鏡室的冷凝鏡，通過等壓制冷，使得樣氣達到飽和結露狀態（冷凝鏡上有液滴析出），測量冷凝鏡此時的溫度即是樣氣的露點。該方法的主要優點是精度高。

 

　　在采用半導體制冷和光電檢測技術后，不確定度甚至可達0.1℃；缺點是響應速度較慢，尤其在露點－60℃以下，平衡時間甚至達幾個小時，而且此方法對樣氣的清潔性和腐蝕性要求也較高，否則會影響光電檢測效果或產生‘偽結露’造成測量誤差。

 

　　鏡面制冷的方法有：半導體制冷、液氮制冷和高壓空氣制冷。鏡面式露點儀采用的是直接測量方法，在保證檢露準確、鏡面制冷效率和測量結露溫度前提下，該種露點儀可作為標準露點儀使用。目前上精度達到±0.1℃（露點溫度），一般精度可達到±0.5℃以內。